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第485章 一种基于激光诱导气体等离子体技术

    新成立的华辰微电子,位于庐州,与辰芯微(庐州)工厂一路之隔。

    黄小婷同华威公司安排的副手纪年华在新年过去,迅速地拉起来了一支研发队伍。

    江奕辰率先带着设计人员对EUV光刻机开展总体设计。

    模拟+感应,两大S级技能同时开启。

    结合此前改造光刻机曝光系统过程中,对光刻机结构的掌握,江奕辰花了一个月时间,就带队拿出了一个相对比较可行的设计图。

    新型EUV光刻机设计,摆脱了阿斯麦那种激光光源轰击锡靶产生极紫外光的模式,转道选择了一种基于激光诱导气体等离子体技术。

    这个技术,是江奕辰S级物理、材料,以及接连数月光电领域超强学习,触发一次万倍暴击实现了S级的光电学带来的技术质变。

    更是模拟+感应两大S级技能联合作用发挥的巨大成果。

    在设计过程中,江奕辰不时的进行模拟和感应,以便确定自己选择方向的正确性。

    选择的时候,江奕辰能够看到不同选择道路的感应结果。

    如果是正向反馈,该选择条会亮绿光。

    绿光条越长,说明这选择更能实现目标。

    相反,如果绿光很短,或是显示红光条,那就完全就不能选。

    持续不断地选择,让江奕辰越来越接近这个技术的正确答案,有点像数学中的逼近,江奕辰的选择几乎不会出错。

    在光刻机设计和制造过程中,除了轰击锡靶之外,自然还有其他潜在的极紫外光产生方式。

    比如说,同步辐射光源和自由电子激光也是能够产生极紫外光的高级光源技术。

    但大部分是用于科学研究或特定工业应用,而不是直接用于大规模芯片生产。

    江奕辰通过强大的开创性设计,提出了激光诱导气体等离子体技术,便是利用高强度激光束照射特定气体(如氙气、氩气等稀有气体),通过激光与气体的相互作用,使气体电离并形成等离子体。

    等离子体中的高能电子与离子复合时,会发射出极紫外光。

    当然,理论是这样,实际设计和制造过程中会遇上不少难题。

    但江奕辰拿出这个技术,便是在设计上理论上已经没有了问题,是一个可以探索实验的方案。

    “江董,根据总设方案,我们打算自己做光源系统、曝光系统,现在需要订购的部件支撑,主要有透镜系统、双工件台这些,初步确定了几家供应商,但他们目前的产品,远远达不到我们的要求。”

    黄小婷汇报着情况。

    跟着江奕辰搞了一个多月的设计,黄小婷已经对江奕辰的强大完全倾倒。

    但设计归设计,能不能造出来,又是一个难题。

    纪年华道,“我们想派出工作组,协助供应商改进技术,以便尽快实现我们的部件要求。”

    “嗯,这是一个好办法。”江奕辰赞成,“不仅如此,咱们不要怕花钱,也不要把鸡蛋放到一个笼子里,每个部件采购供应商选择至少2家,给出足够高的价格,只要他们能够把产品做出来。”

    除了总体设计,江奕辰还将各个部件进行了初步的设计。

    相关供应商,只需要砸人砸钱下去,照着江奕辰画的样式,设计的要求,整出来就行。

    只要验收过关,高价购买不说,还将签订长远的购销合同。

    江奕辰粗略估计,一旦搭载新技术的EUV光刻机量产,届时阿斯麦的技术领先优势将不复存在,甚至原本数亿米元的光刻机,将直接掉价到数千万米元。

    这些技术是先进,但不少国外企业都是躺在功劳簿上的,特别是资本不喜欢亏钱,他喜欢躺着赚钱。

    阿斯麦的光刻机能够几乎垄断全球,价格是他们定的不说,就是订单,你也得按他的生产节奏慢慢等。

    这就是绝对强势的卖方市场。

    人家不卖给你,可以直接制裁。

    因为没有人能够不找他们买光刻机。

    江奕辰就是不信这个邪。

    非接触式曝光系统他能够改良出来,区区EUV光刻机就能拦住他的路了?

    这是不可能的事。

    S级的技能储备,就是他强大无比的挂。

    “好。”黄小婷点头应是。

    纪年华虽然是华威的人,但过华辰微电子之后,已经成了江奕辰的迷弟。

    “江董,这边供应商部件我们协助研究,您若是不出手,我怕大家一时半会解决不了难题呢!”

    “不要紧,我会出手。”

    江奕辰摆手,对此并不担忧。

    最为困难的光源系统,被江奕辰搞定了设计,其他的困难就不再是困难了。

    无非就是舍不舍得花钱。

    巧合的是,江奕辰是舍得花钱的主。

    他不像有些企业家想方设法把公司的利润分掉,把公司钱通过各种方式挪掉。

    相反,他宁愿不要那么分红,也要把资金大量地投入研发。

    自打奕辰集团成立以来,研发投入每年都在35%以上。

    纪年华立马就自信满满,“那我们就不怕了。”

    “放手去干吧,让所有的工程师们解放思维,大胆去创新,”江奕辰鼓励道,“在这一点上,咱们华辰微电子也是学了华威,只要能够创新,改进和优化我们的技术和产品,奖励绝不吝啬。”

    加班的工资也是极高,各类奖励更是丰厚。

    一个普通的工程师,一个月至少3.5万。

    如果加上年终奖这些,一年百万,都是妥妥的。

    但在华辰微电子,这些工程师们的入职要求也是极高,考核也是更为严格,如果没有一点真本事,只是过来蹭工资的,那很快就会被淘汰出去。

    淘汰的员工,会回辰芯微或是华威,那时的待遇就没有这么好了。

    看着黄小婷、纪年华等人离开,再次进入了高强度的工作节奏。

    或许他们并不理解江奕辰着急把光刻机造出来,把核心技术掌握在自己手里的迫切需求,但从这些几乎不计成本的投入,他们可以看到,江奕辰造出华国自己的EUV光刻机的强大决心。

    幸运的是,这个时刻不再遥远。

    ……

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