“就叫华辰EUV光刻机。”

    江奕辰摆摆手，对取名这个想法，并没有特别大的兴趣。

    只要能用，这机器就是好的。

    要是不能用，叫啥高大上的名字，也是白搭。

    EUV，那是极紫外线光刻机（Extreme Ultra-violet Lithography machine）的简称。

    这也算是在业界约定成俗，直接叫这个，大部分人都知道这是什么类的光刻机。

    “先测试曝光。”

    江奕辰扬手吩咐。

    当然不需要他出手，这群激动的工程师们就嗷嗷叫地开启了光刻机。

    因为是测试样机，并没有啥包装设计，没有必要的装饰板一个没有，裸机看起来，有些不好看。

    但总体的设计语言很不错，看起来有种工业的美感。

    这，就是工业上最大的一颗明珠了吧。

    机器启动，黄小婷选择了测试程序。

    双工件台也开始了运转，一片晶圆被送了上去，而后进入了光刻环节。

    强大的光源系统，让激光碰上了气体，激发了极紫外线光。

    复杂的透镜系统，过滤或是反射掉了那些不需要的光，留下了极为纯净且带有足够能量的极紫外光。

    透过掩膜版，照射在了晶圆上面的光刻胶上。

    随着光线的照射，光刻胶发生了化学反应，形成微小的电路图案。

    这个过程需要极高的精度和稳定性，任何微小的偏差都可能导致整个芯片的失效。

    江奕辰紧盯着监控屏幕，观察着每一个细节。

    EUV光刻机的光刻性能直接关系到芯片的质量和产量，而芯片则是现代电子设备的核心。

    “看起来不错。”

    他微微点头，对工程师们说道，“等会看看测量结果。”

    工程师们忍着心头的激动，依然稳步开展着光刻测试。

    随着时间推移，测试逐渐进入了尾声。

    晶圆被送出光刻机，进入了下一个环节。

    工程师们轻手轻脚地夹着去做蚀刻等工艺。

    在无尘车间，昏黄的灯光下，一切都顺利进行着。

    紧接着就是沉积晶体管，随后便是检测。

    孔连华非常熟悉地收集和分析数据，对光刻机的性能进行评估。

    “结果如何？”江奕辰问道。

    孔连华脸上洋溢着难以抑制的喜悦，“江总，结果非常出色！测试结果显示，光刻精度95%以上，线宽控制误差小于3纳米，这远远超过了行业平均水平的85%精度和5纳米误差！”

    这么优秀？！

    这个结果让江奕辰都有些愣神。

    但穿着无尘服，戴着口罩的他并做不出更多的表情。

    “当真？”

    “千真万确！！”

    “太好了！”黄小婷顿时跳了起来。

    其他工程师们也纷纷热闹的开口，

    “真是难以置信，我们做到了！”有人激动地挥舞拳头。

    “江总太强了！”张工程师感慨道。

    “江总，这下我们可以自信地说，我们打破了阿斯麦的光刻机封锁！”钟国栋的声音因激动而微微颤抖。

    辰芯微这半年来，太难了！

    被江奕辰用“秘法”拯救过的二手光刻机，在尽心尽责的工作了3个月后，很快出现了难以救回的问题，光源可以说报废了，透镜系统也几乎不可用。

    原本的4条二手197nm干式光刻机生产线，一下子就停了3个。

    不得已，辰芯微推掉了华威等企业的芯片生产订单。

    仅仅是维持着星辰手机的璇玑芯片。

    经过了一年多的扩大生产，星辰手机销量快步提升，特别是璇玑2代芯片，主频提升很大。

    量大管饱之下，销量出奇的好。

    可销售越好，肖雅婷就越头疼。

    因为芯片开始紧缺了。

    如果没有光刻机，他们的芯片代工厂，将成为了笑料。

    不能生产高制程的芯片，难不成用国产的老旧光刻机，生产65nm的芯片？

    主频不足1Ghz？

    璇玑大火炉芯片？

    江奕辰虽然激动，但忍住了，“大伙别激动，慢慢来，继续测试。”

    后续要测试的东西，多着呢！

    比如，光刻机的长时间运行稳定性、光源系统的寿命测试、以及在不同工艺条件下的适应性等，都是接下来需要重点关注的测试项目。

    毕竟，一次成功，并不能代表光刻机在所有情况下都能表现出色，只有经过全面而严格的测试，才能确保光刻机的性能稳定可靠。

    “孔连华，你组织一下，制定一个详细的测试计划，我们要对光刻机的各项性能进行全面评估。”

    江奕辰对孔连华说道。

    孔连华点头应允。

    接下来几天里，工程师们轮流值守，对光刻机进行了不间断的测试。

    他们仔细观察光刻机的运行状态，记录下每一个数据，对光刻机的性能进行了全面而深入的评估。

    在连续72小时的高强度运行测试中，光刻机保持了光源稳定性。

    极紫外光源的功率波动率控制在0.05%以内。

    透镜系统的表现同样令人振奋，其透过率和均匀性均达到了设计指标，且在长时间运行后并没有出现明显衰退。

    江奕辰设计的散热系统，运行得相当出色。

    江奕辰意气风发，“小婷，给我下单，辰芯微要12台！”

    “可，我们还没有定价呢？”黄小婷愣了下。

    “定价，你觉得多少合适？”

    “就目前的样机来说，至少要1.5亿元的成本。”黄小婷道，“当然，具体多少，要详细测算。”

    江奕辰笑了，“这和国外的比起来，那也便宜太多了啊！”

    “这倒是。”

    黄小婷恍然。

    钟国栋道，“把生产线建好，不说别的，同时造两台光刻机是要的。”

    一台光刻机，制造完成至少需要三四个月的时间，这还包括各种精密部件的采购、组装、调试以及最终的性能验证。

    考虑到‘华辰EUV光刻机’是华辰微电子自主研发的首台设备，其生产周期可能会更长。

    尤其是在初期，需要对每一道工序都进行严格的质量控制和技术优化。

    “至于定价，给辰芯微和华威的，成本价加上适当利润价。至于以后卖出去，一台至少12亿。”江奕辰嘴角扬了起来。

    黄小婷有些财迷起来，“话说，什么时候发奖金？另外，宣传呢，要不要？”

    ……